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자료유형
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저자정보
강중옥 (금오공대 대학원) 한창수 (한국기계연구원) 홍성욱 (금오공대 기계공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
177 - 181 (5page)

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This paper presents a 3-axis fine positioning stage. All the procedure concerning the design and fabrication of the stage are described. The stage considered here is composed of flexure hinges, piezoelectric actuators and their peripherals. A special flexure hinge is adopted to be able to actuate the single stage in three axes at the same time. A ball contact mechanism is introduced into the piezoelectric actuator to avoid the cross talk among the axes. The final design is obtained with the theoretical analysis on the stage. An actual fine stage is developed and the design specifications are verified through an experiment.

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