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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.15 No.2
발행연도
2006.4
수록면
24 - 29 (6page)

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The use electron-beam(E-beam) manufacturing system provides a means to alleviate optic exposure equipment's problems. We are developing an E-beam manufacturing system with scanning electron microscope(SEM) function. The E-beam manufacturing system consist of high voltage generator, beam blanker, condenser lenses, object lenses, stigmator and stage. The development of E-beam manufacturing system is used on the method of remaking SEM's structure. The functions of SEM are developed. It is important for the test of E-beam performance. In E-beam manufacturing system and SEM, beam focus is important function. In this paper, we propose intelligent remote control function for beam focus in E-beam manufacturing system. The function extends the user’s function and gives convenience.
#전자빔 가공기(Electron beam manufacturing system) #전자 현미경(Scanning electron microscope) #고전압 발생기 #전자총(Electron gun) #집속 렌즈(Condenser lens) #대물 렌즈(Object lens)

목차

Abstract
1. 서론
2. 전자빔 가공기의 개발
3. 전자빔 가공기의 빔 초점 조종
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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