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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
97 - 100 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2009

집속 렌즈의 초점 거리 변화에 대한 프르브 전류 분석
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
임선종 ,  이찬홍 한국레이저가공학회지 2009.01 학술저널

2008

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료
주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프로브 전류의 차단
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2008.10 학술저널
주사 전자 현미경에서 빔 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
주사 전자현미경에서 프르브 전류의 측정
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Because the E-Beam manufacturing system, to which the proposed modeling is applied, is based on a Scanning Electron Microscopy(SEM), the development process includes the stage of electronic microscope. This is also a stage for confirming the basic performance of the E-Beam manufacturing system. This paper proposed the control signal systemization from electron beam generation to image capture. For control signal systemization, we designed control boards.
#전자빔 가공기(E-Beam Manufacturing System) #전자 현미경(Scanning electron microscope)

목차

Abstract
1. 서론
2. 현미경과 가공기의 구조 비교
3. 제어 신호의 체계 설계와 구현
4. 결과 및 결론
참고문헌

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