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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
347 - 350 (4page)

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Beam blanker containing blank plate intercepts probe current by drawing electron beam. It is suitable for a variety of pattern process because of its responsibility. But it changes electron beam path. Condenser lens controls focal length by currents. The focal length is the distance along the optic axis from the point where an electron first changes direction to the point where the electron crosses the axis. Increasing the strength of the condenser lens decreases both the final probe size and the amount of current in the final probe. In this paper, we implement the beam blank function using the focal length of condenser lens without beam blanker.

목차

Abstract
1. 서론
2. 초점 거리를 이용한 프로브 전류 차단 원리
3. 프르브 전류의 차단 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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