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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
414 - 419 (6page)

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The nano-stage system is widely used in some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the nano stage which is designed and fabricated is consisted of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder. In order to make a system transfer function of the nano-stage system, the frequency responses for the sinusoidal inputs was analyzed. From the bode diagram, the system was modeled in 4th order system. Also, in order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, some weighting functions were selected and the H<SUB>∞</SUB> controller was designed by loop-shaping method. For the designed robust controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Scanning Tunnelling Microscope(주사탐침 현미경) #nano-stage(나노 스테이지) #Bode diagram(보데 선도) #Piezoelectric actuator(압전소자 구동기) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Hysteresis(이력현상) #Robust control(강인 제어) #Weighting function(가중치 함수)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성 및 제어
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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