메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
344 - 349 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived using system identification tool and reduced second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H<SUB>∞</SUB> controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Scanning Tunnelling Microscope(주사탐침 현미경) #Ultra-precision stage(초정밀 스테이지) #Finite Element Method(유한요소법) #Piezoelectric actuator(압전소자 구동기) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Hysteresis(이력현상) #Robust control(강인 제어) #Weighting function(가중치 함수)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성 및 제어
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

전기-기계 커플방정식을 이용한 Piezoelectric Energy Harvesting 시스템 출력 전압 예측
김진수 ,  정운창 ,  이선훈 외 2명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2014 .04
슬라이딩 모드 관측기 기반의 정밀 스테이지 위치 제어
최승옥 ,  최인성 ,  유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .10
초정밀 3축 이송 스테이지의 개발 : 2. 제작 및 성능 평가
강중옥 ,  백석 ,  한창수 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004 .03
초정밀 스테이지의 강인 제어
박종성 ,  정규원 대한기계학회 논문집 A권 2006 .09
글로벌스테이지의 재현성 실험 및 초정밀 선삭가공
박대광 ,  김재열 ,  윤성운 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2015 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-016173088