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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
317 - 320 (4page)

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In this paper, a nano stage which is designed is consisted of flexure hinge of notched type based in symmetric double parallelogram mechanism and piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder. For a scanner like AFM, the resonant frequency is important factor in scan rate. Modal analysis was executed in order to analyze dynamic characteristic for this stage. The contact of stage and piezoelectric actuator was modeled in nonlinear contact element. The natural frequencies and mode shapes were found. Also, the frequency responses for the sinusoidal inputs was analyzed. From the bode diagram, two resonant frequencies were found. In comparison with the results by modal analysis presented many differences.
#Finite element method(유한 요소 해석) #nano-stage(나노 스테이지) #Bode diagram(보데 선도) #Piezoelectric actuator(압전 소자 구동기) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Modal analysis(모드 해석) #Frequency response analysis(주파수 응답 해석) #AFM(원자간력 현미경)

목차

Abstract
1. 서론
2. 스테이지 구성 및 해석
3. 결론
참고문헌

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