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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
83 - 88 (6page)

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A hot plate device has been designed as a thermal treatment tool for the press-type hot embossing machine which copies the nanopatterns on stamp to polymer substrate. Design goal is to achieve the performance of rapid heating and cooling as well as high temperature uniformity and the strength to endure high stamping pressure. Analysis of design requirements leads to a new hot plate configuration having cooling holes and catridge heaters which are straight and arranged in parallel for extensibility toward large area. Numerical computations have been conducted for assessing the feasibility of the proposed design cencept and for determining the optimal distribution of heating and cooling elements. The numerical results and raised issues are scrutinized in view of accomplishment of rapid heating and cooling together with high temperature uniformity.
#Hot Plate(열판) #Hot Embossing(고온 엠보싱) #Nanoimprint(극초미세 식각) #Rapid Heating and Cooling(급속 가열 및 냉각) #Design Analysis(설계해석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 개념 설계
3. 열판의 열응답 특성 해석
4. 결론
후기
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