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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제2호
발행연도
2009.4
수록면
73 - 78 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
홍영수 ,  권세훈 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료
Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
홍영수 ,  권세훈 ,  김광호 한국표면공학회지 2009.04 학술저널

초록· 키워드

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Quinary Ti-Al-Si-C-N films were successfully synthesized on SUS 304 substrates and Si wafers by a hybrid coating system combining an arc ion plating technique and a DC reactive magnetron sputtering technique. In this work, the effect of Si content on the microstructure and mechanical properties of Ti-Al-C-N films were systematically investigated. It was revealed that the microstructure of Ti-Al-Si-C-N coatings changed from a columnar to a nano-composite by the Si addition. Due to the nanocomposite microstructure of Ti-Al-Si-C-N coatings, the microhardness of The Ti-Al-Si-C-N coatings significantly increased up to 56 GPa. In addition the average friction coefficients of Ti-Al-Si-C-N coatings were remarkably decreased with Si addition. Therefore, Ti-Al-Si-C-N coatings can be applicable as next-generation hard-coating materials due to their improved hybrid mechanical properties.
#Ti-Al-Si-C-N #Hybrid coating system #Microstructure #Mechanical properties

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (37)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - G. S. Kim / 2005 / / Surf. Coat. Technol. 193 : 213 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - F. Mei / 2005 / / Mater. Lett. 59 : 2210 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - G. T. Liu / 2005 / / Surf. Coat. Technol. 200 : 2100 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - J. Bujak / 2004 / / Surf. Coat. Technol. 180 : 150 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 윤석영 / 2002 / 아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적특성 비교 / 한국표면공학회지 35 (4) : 199 ~ 205 dbpia

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