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논문 기본 정보

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한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제6권 제3호
발행연도
2008.6
수록면
22 - 30 (9page)

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본 논문에서는 산화주석 박막으로 형성된 가스 센서의 고장진단을 위하여 산화주석 박막내의 다결정 입자의 입계에서의 접촉 전위와 여러경계인수를 갖는 ART-2 신경회로망 기반 방법을 제안하였다. 주방용 식용유 증기와 실리콘 실란트 가스 그리고 고습에 의해서 발생된 산화주석 가스센서의 고장을 진단하였다. 고장진단을 위한 산화주석 가스센서의 추출 인자로는 산화주석 박막내의 다결정 입자의 입계에서의 접촉전위를 이용하였으며, 접촉전위는 temperature-simulated conductance 측정에 의해서 구해졌다. 추출된 접촉 전위는 ART-2 신경회로망의 입력 값으로 사용되었고 최종적으로 고장 진단의 성능은 n-C₄H ₁?의 실제 가스 측정을 통하여 그 정확성을 검증 하였다. 제안된 방법은 주방용 식용유 증기, 실리콘 실란트 가스 및 고습에 의해 고장 난 산화주석 기반의 가스센서의 고장진단에 유용한 것으로 확인되었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 산화주석 가스센서의 제조공정
Ⅲ. ART-2 신경회로망 기반 센서고장진단
Ⅳ. 시뮬레이션 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
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