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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제38권 제3호
발행연도
2005.6
수록면
106 - 111 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2005

PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막 내의 보론함량과 증착온도에 따른 미세구조 및 기계적 물성의 변화
옥정태 ,  송풍근 ,  김광호 한국표면공학회지 2005.06 학술저널
PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막의 Boron함량에 따른 미세구조 및 기계적 물성 변화
옥정태 ,  허수정 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

2004

PECVD 법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막 내의 증착 온도와 r.f. Power에 따른 특성 변화
옥정태 ,  전준하 ,  송풍근 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.11 학술대회자료
PECVD법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막내의 Si 함량과 증착온도에 따른 미세경도와 탄성계수변화
옥정태 ,  전준하 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Ternary Ti-B-C coatings were synthesized on WC-Co and Si wafers substrates by a PECVD technique using a gaseous mixture of TiCI₄, BCI₃, CH₄, Ar, and H₂. The effects of deposition variables such as substrate temperature, gas ratio, R<SUB>x</SUB>＝[BCI₃/(CH₄＋BCI₃)] on the microstructure and mechanical properties of Ti-B-C coatings were investigated. From our instrumental analyses, the synthesized Ti-B-C coatings was confirmed to be composites consisting of nanocrystallites TiC, quasi-amorphous TiB₂, and amorphous carbon at low boron content, on the contrary, nanocrystallites TiB₂, quasi-amorphous TiC, and amorphous carbon at relatively high boron content. The microhardness of the Ti-B-C coatings increased from ~23 ㎬ of TiC to -38 ㎬ of Ti<SUB>0.33</SUB>B<SUB>0.55</SUB>C<SUB>0.11</SUB> coatings with increasing the boron content. The Ti<SUB>0.33</SUB>B<SUB>0.55</SUB>C<SUB>0.11</SUB> coatings showed lower average friction coefficient of 0.45, in addition, it showed relatively better wear behavior compared to other binary coatings of TiB₂ and TiC. The microstruture and microhardness value of Ti-B-C coatings were largely depend on the deposition temperature.
#PECVD #Ti-B-C coatings #Nanocomposite #Microstructure #Depositon temperature

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

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