3실 분리형 광 CVD장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성 ( Dependence of characteristics of undoped a-Si : H film prepared by 3 separated reaction chamber photo-CVD apparatus on substrate temperature )

장재훈 ,  임굉수

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

3실 분리형 광 CVD 장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성

장재훈 ,  임광수

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )

정창영 ,  정관수 ,  장진

전자공학회논문지

1990 .09

Si기판위에서 CVD를 이용한 gate dielectric 용 HfO$_2$ 박막의 증착과 분석

박병건 ,  박재후 ,  조문주 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Zn^xSr₁^-xS 박막의 제작과 특성에 관한 연구

이상태

한국정보통신학회논문지

2001 .10

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

Enhancement of a-Si : H Solar Cell Characteristics by Hydrogen Treatment of P / I interface using Photo-CVD Method

장재훈 ,  임굉수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

光CVD法에 의한 a-Si 太陽電池의 高效率化에 관한 硏究

김태성

한국태양에너지학회 논문집

1985 .11

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RP-CVD로 제작된 고전계 효과 이동도 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 ( High Mobility a-Si:H Thin Film Transistor Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  유순성 ,  장진

전자공학회논문지-A

1992 .06

BP-Si구조를 이용한 다이오드 및 Photo Cell의 제작에 관한 연구 ( Studies on Fabrication of Diodes and Photo Cell Using BP-Si Structure )

홍순관 ,  복은경 ,  김철주

전자공학회논문지

1988 .07

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

새로운 방법에 의한 비정질 실리콘의 제작

김성철 ,  이승규 ,  장진

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1989 .05