Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )

정창영 ,  정관수 ,  장진

전자공학회논문지

1990 .09

CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작

최원국 ,  정광호 ,  김웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

RP-CVD로 제작된 실리콘 산화막의 특성 ( Characterization of SiO2 Films Deposited By RP-CVD )

임성실 ,  이태진 ,  강희경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

RP-Cvd로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of Doped Microcrystalline Si Films Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  김성철 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

FA-CVD에 의한 Si 박막 특성의 수소 희석 효과 ( Effect of Hydrogen Dilution on Characteristics of Thin Silicon Films Prepared by FA-CVD )

정창영 ,  정관수 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

RP-CVD로 제작된 고전계 효과 이동도 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 ( High Mobility a-Si:H Thin Film Transistor Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  유순성 ,  장진

전자공학회논문지-A

1992 .06

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD

Yung Kwon Sung

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

RP-CVD로 제작한 MIS 구조에서의 비정질 실리콘나이트라이드의 특성 ( Characterization of Amorphous Silicon Nitride Films in MIS Structures Prepared By RP-CVD )

정문연 ,  류순성 ,  김광남 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07