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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
33 - 34 (2page)

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카본과 BN의 합성조건을 제어하여 고경도 상과 저경도 상을 다층박막화하기 위하여 시편에 인가하는 바이어스 전압을 조절하여 박막을 합성하였다. 합성된 다층박막은 카본의 경우 흑연상을 많이 함유한 단일층 박막과 유 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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