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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
107 - 108 (2page)

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박막형태의 소재는 일반적으로 광ㆍ전자 및 소재가 공 관련 산업에서 특수한 기능이 요구되는 부품 제조에 광범위하게 응용되고 있다. 이러한 박막 소재는 물성 면에서 벌크물질 때의 물성과 매우 다를 수 있는 것으로 알려져 있다. 박막에 스트레인이 존재하면 전자의 이동도나 밴드갭 에너지를 변화시켜 줄 수 있으며, 계면의 전위는 소자를 열화 시키는 역할을 하기도 한다. 이러한 이유로 박막 성장 시 실시간으로 스트레인을 관찰하고 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
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