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대한전자공학회 전자공학회논문지-IE 전자공학회논문지 TE편 제39권 제2호
발행연도
2002.6
수록면
6 - 10 (5page)

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플라스틱 기반 평판디스플레이 장치를 위한 Al 박막(1000-4000Å)을 직류-마그네트론 스퍼터링으로 유리 기판과 고분자 플라스틱 기판위에 증착하였다. 고분자 플라스틱 기판위에 증착된 Al박막의 전기적 특성을 향상시키고, 열 팽창을 줄이기 위하여 단계적 열 처리법을 사용하였다. 이러한 공정을 사용함으로써, 고분자 기판위에 증착된 박막의 크랙과 기판의 휨현상이 없는 Al 박막을 성공적으로 증착하였다. 또한, Al 박막의 열처리와 증착공정은 모두 200℃ 이하에서 이루어 졌기 때문에, 이러한 저온 공정은 고분자 플라스틱 기판에 적용이 가능하다. Al 박막의 특성과 신뢰성을 조사하기 위하여 주사 전자 현미경(SEM), 원자력 현미경(AFM), X-선 회절 분석법(XRD)과 비저항등의 전기적 특성을 측정하였다.

목차

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 실험 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

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