[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

MEMS ( Micro Electro Mechanical System ) 기술의 동향

신상모

전자공학회지

1997 .10

[특집 ： MEMS 기술] 초미세 전자기학 기술의 소개와 Micro-Channel의 제조와 응용

서덕봉

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies

Li ,  G.P. ,  Bachman 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium

2004 .01

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

A Study on Modeling and Simulation of Electro-statically Driven Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Ho-mun Si ,  Ohseob Kwon ,  Chongdu Cho

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

MEMS에서의 마이크로 가공기술 ( Micromachining Technologies of MEMS )

김창진

대한기계학회지

1993 .06

MEMS 기술을 이용한 소형화된 유화액 혼합 소자의 설계

정진우 ,  전국진

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

The Estimation of MEMS Properties

Jeongick Lee

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2008 .01

마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험

한성현 ,  강수진 ,  장수은 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2014 .12

생산기술로서의 MEMS

이승섭

기계저널

2009 .03

MEMS 기술동향

백경갑 ,  주병권

전기의세계

2006 .10

초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구

허신 ,  정영도 ,  이영화 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

MEMS-based 마이크로 터보기계의 개발 ( Development of MEMS-based Micro Turbomachinery )

박건중 ,  민홍석 ,  전병선 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

MEMS : From Research to Applications

H. Sandmaie ,  W. Lang

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

MEMS 기술개발 현황 및 사업화 계획

조영호

기계저널

2001 .12

MEMS 기술의 센서 응용

문성욱

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2001 .11

MEMS 기술의 소개 및 응용

김용협 ,  연순창

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

MEMS 기술의 광학적 응용

문성욱

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

MEMS 기술을 이용한 초소형 풍향 풍속 센서

유은실 ,  신규식 ,  조남규 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07