( 100 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 모서리 하부부식과 Misorientation의 영향 ( Influence of the Undercutting and Misorientation on Anisotropic Etching of ( 100 ) Silicon )

김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Anisotropic Etching Property on Porous Silicon Formation

유인식 ,  박기율 ,  심준환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작 ( Fabrication of Micromechanic Structures for Integrated Sensor Using Anisotropic Etching of Si )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

실리콘의 비등방성 식각 상태의 고찰과 집적 센서용 미세 기계 구조 제작에의 응용

朱炳權 ,  李允熙 ,  金炯坤 외 1명

전기학회논문지

1990 .01

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

p-n 접합에 있어서의 비등방성 응력효과 ( Anisotropic Stress Effects in p-n Junctions )

손병기 ,  이건일 ,  김수중 외 1명

전자공학회지

1974 .06

이산화실리콘 층의 예각부식 ( Acute Angle Etching of Silicon Dioxide Layer )

최연익

전자공학회지

1985 .07

실리콘 웨이퍼의 크랙 검출을 위한 실험계획법 기반 비등방성 확산 필터의 최적조건 선정

서형준 ,  김경범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

비등방성 원통형 쉘의 안정성에 관한 연구

박근우 ,  임성순 ,  장석윤

한국강구조학회 논문집

2000 .04

비등방성 얇은 쉘 및 두꺼운 쉘의 해석연구

박원태

한국산학기술학회 논문지

2005 .12

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

Needle-Type Field Emitter를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구

고창기 ,  주병권 ,  박홍우 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

유한요소법에 의한 비등방성 두꺼운 원통형 쉘 및 얇은 원통형 쉘의 비교 해석

김기동 ,  박원태

복합신소재구조학회논문집

2010 .01

자유경계를 갖는 비등방성 판의 유한차분 안정성 해석

유용민 ,  이상열 ,  장석윤

한국강구조학회 논문집

2000 .04