메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
한국정보기술학회 Proceedings of KIIT Conference 한국정보기술학회 2009년도 Green IT융합기술 워크숍 및 하계 종합 학술 대회 논문집
발행연도
2009.6
수록면
7 - 11 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2009

열처리한 SiOCH 박막의 기공형성에 의한 유전특성
김종욱 ,  박인철 ,  김홍배 Proceedings of KIIT Conference 2009.06 학술대회자료
기공형성에 의한 SiOCH 박막의 유전 특성
김종욱 ,  박인철 ,  김홍배 반도체및디스플레이장비학회지 2009.01 학술저널
열처리한 SiOCH 박막의 결합모드와 유전상수 특성
김종욱 ,  황창수 ,  박용헌 외 1명 전기전자재료학회논문지 2009.01 학술저널

초록· 키워드

오류제보하기
low-k 유전상수를 갖는 층간 절연막 (ILD)을 BTMSM 프리커서를 이용하여 24sccm에 32sccm까지 2sccm씩 증가시키며 PECVD 방식으로 증착하였다. 상온에서 증착된 SiOCH 박막을 400℃와 500℃에서 30분 동안 진공 중에서 열처리하였다. FTIR 분석 결과, BTMSM 유량이 증가할수록 SiOCH 박막의 탄소 함유량이 29.5%에서 32.2%로 증가하였으며, 500℃에서 열처리한 26sccm 샘플은 32.8% 증가하였다. 1㎒에서 측정한 유전상수는 26sccm 샘플에서 2.32로 가장 낮았고, 500℃에서 열처리 후 2.05로 감소하였다. 누설전류 또한 26sccm 샘플에서 8.7× 10?? A/㎠로 가장 낮았다. BTMSM 유량이 26sccm인 SiOCH 박막에서 화학적 결합의 Shift 현상이 나타났고, 탐소함유량은 가장 높았으며 유전상수 또한 가장 낮은 값을 갖았다.
#Low-k #PECVD #FTIR #BTMSM #SiOCH

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

NiCo₂O₄ 나노구조체 기반의 고효율 비 효소 글루코스 바이오 센서
성진 ,  전성찬 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021 .07

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-566-018477083