Negative bias voltage effect에 따른 Cr-Si-N 박막의 미세구조에 대한 연구

신정호; 김광호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신정호 김광호

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍

발행연도: 2009.5

수록면: 130 - 131 (2page)

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2009

Negative bias voltage effect에 따른 CrN 박막의 미세구조에 대한 연구

신정호 , 김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

Negative bias voltage effect에 따른 Cr-Si-N 박막의 미세구조에 대한 연구

신정호 , 김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료

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김광호

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