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자료유형
학술대회자료
저자정보
이정두 (부산대학교) 왕치민 (부산대학교) 김광호 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
75 - 76 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

하이브리드 코팅시스템에 의한 Cr-Si-O-N 코팅막 합성 및 기계적 성질
이정두 ,  왕치민 ,  김광호 한국표면공학회지 2010.10 학술저널
하이브리드 코팅시스템에 의한 Cr-Si-O-N 코팅막 합성 및 기계적 성질
이정두 ,  왕치민 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.05 학술대회자료

2009

Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향
이정두 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

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하이브리드 코팅장비를 이용하여 SUS304, Si웨이퍼위에 증착 시켰다. 이 연구는 Cr-Si-N 코팅에 산소를 첨가하여 Cr-Si-O-N 코팅막을 형성하고 산소가 코팅막에 미치는 영향을 알아보았다. Cr-Si-O-N 코팅막에서 산소가 첨가되면 Cr₂O₃결정상이 형성된다. 하지만 산소 ... 전체 초록 보기

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Cr Interlayer 삽입에 따른 Cr-Al-Si-N 코팅과 SUS 304 기판의 밀착 특성 연구
최광수 ,  홍영수 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .10

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-004001951