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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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새로운 레이저 어닐링 방법을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지 C
2000 .01
새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
플라스틱 기판위에 엑시머 레이저 열처리된 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전자공학회논문지-IE
2006 .06
엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )
전자공학회논문지-D
1997 .01
이중 활성층 ( a-Si/a-SiNx ) 의 XeCl 엑시머 레이저 어닐링 효과 ( Excimer Laser Annealing Effects of Double Structured Poly-Si Active Layer )
전자공학회논문지-D
1998 .06
선택적 레이저 어닐링을 이용하여 비정질 실리콘 오프셋을 갖는 Inverse Staggered 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
SiOxFy/a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상
전기학회논문지 C
1999 .09
엑시머 레이저광의 회절에 의한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 소오스/드레인 접합부 결함 생성
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
금속 유도 측면 결정화법에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 스트레스 효과에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
엑시머 레이져 어닐링을 이용한 극히 얕은 N⁺/P 접합 형성
한국통신학회 학술대회논문집
2000 .11
이중 금속 측면 결정화를 이용한 400。C 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작 및 그 특성에 관한 연구 ( Fabrication and characteristics of poly - Si thin film transistors by double - metal induced lateral crystallization at 400˚C )
전자공학회논문지-D
1997 .04
XeCl Excimer Laser Annealing Used to Fabricate Poly-Si TFT`s
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
전기적 스트레스가 금속 유도 측면 결정화에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 누설 전류에 미치는 영향 ( The electrical stress effect on the leakage current of poly-Si thin film transistors fabricated by metal induced lateral crystallization )
전자공학회논문지-A
1996 .09
엑시머 레이저 어닐링 (ELA) 기술 및 메커니즘에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .11
금속 유도 측면 결정화에 의해 유리기판 위에 제작된 저온 ( 450C ) 다결정 박막 트랜지스터에 관한 연구 ( A Study on the Low Temperature ( 450 C ) Poly-Si TFT Fabricated on the Glass Substrate by Metal-Induced Lateral Crystallization ( MILC ) )
전자공학회논문지-D
1998 .05
다결정 실리콘 박막 트랜지스터 특성에 미치는 뒷 게이트 바이어스 효과에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
선택적으로 도핑된 채널을 가지는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
짧은 채널 길이의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 스트레스에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
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