지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
Abstract
1. 서론
2. 모델링
3. 시뮬레이션 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Mark A. Sobolewski / 2002 / Measurements and modeling of ion energy distributions in high-density 91 (10) : 6303 ~
[학술지(정기간행물)] - Brian K. McMillin / 1997 / Two-dimensional imaging of CF2 density by laser-induced fluorescence in CF4 etching plasmas in the gaseous electronics conference reference cell 15 (2) : 230 ~
[학술지(정기간행물)] - T. Kimura / 2002 / Model and probe measurements of inductively coupled CF4 discharges 92 (4) : 1780 ~
[학술지(정기간행물)] - L.G. Christophorou / 1996 / Electron Interactions with CF4 24 (5) : 1341 ~
[학술지(정기간행물)] - Nikolaos V. Mantzaris / 1995 / Radio-frequency plasmas in CF4 Self-consistent modeling of the plasma physics and chemistry 77 (2) : 6169 ~
[학술지(정기간행물)] - Brian K. McMillin / 1997 / Two-dimensional imaging of CF2 density by laser-induced fluorescence in CF4 etching plasmas in the gaseous electronics conference reference cell 15 (2) : 230 ~
[학술지(정기간행물)] - T. Kimura / 2002 / Model and probe measurements of inductively coupled CF4 discharges 92 (4) : 1780 ~
[학술지(정기간행물)] - L.G. Christophorou / 1996 / Electron Interactions with CF4 24 (5) : 1341 ~
[학술지(정기간행물)] - Nikolaos V. Mantzaris / 1995 / Radio-frequency plasmas in CF4 Self-consistent modeling of the plasma physics and chemistry 77 (2) : 6169 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
-
CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
-
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구
전기학회논문지
1987 .11
-
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
-
A Study on the PEO-LiN$(SO_2CF_2CF_3)_2-SiO_2$ Composite Electrolyte
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
RF / IF Front-end Design
대한전자공학회 워크샵
1997 .01
-
CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2002 .01
-
장르 기반 Collaborative Filtering 영화 추천
한국인터넷방송통신학회 논문지
2010 .01
-
고열전도 CF/Al 복합재료의 개발을 위한 일방향 CF 프리폼의 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
-
리눅스 스케줄링 알고리즘 CFS를 위한 시뮬레이션 모델
한국정보기술학회논문지
2011 .07
-
RF보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
-
아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션
조명·전기설비학회논문지
2018 .12
-
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
-
RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF₄ 및 N₂ Gas 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
-
O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
RF 플라즈마 전력 전송 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
-
RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF₄ 및 N₂ Gas 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
-
탄소섬유쉬트로 구속된 RC 기둥의 일축압축 거동
한국구조물진단유지관리공학회 논문집
2005 .01
-
배경대기 수준의 CF₄ 분석법 확립
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-560-018784698