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대한전기학회 전기의세계 電氣學會誌 第39卷 第6號
발행연도
1990.6
수록면
6 - 13 (8page)

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목차

1. 서론
2. 청정실 로보트에 의한 원가절감
3. 청정실용 로보트 설계의 기본개념
4. AGVS(Automated Guided Vehicle System)
5. 자동 Wafer etching 및 cleaning
6. VLSI wafer fabrication을 위한 FMS
7. 결론
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