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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.2 No.4
- 발행연도
- 2007.12
- 수록면
- 532 - 536 (5page)
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Carbon nanotube (CNT) properties, produced using a magnetic null discharge (MND) plasma production technology, were investigated. We firstly deposited the Fe layer 200 ㎚ in thickness on Si substrate by the magnetic null discharge sputter method at the substrate temperature of 300oC, and then prepared CNTs on the catalyst layer by using the magnetic null discharge (MND) based CVD method. CNTs were deposited in a gas mixture of CH4 and N2 at a total pressure of 1 Torr by the MND-CVD method. The substrate temperature and the RF power were 650oC and 600 W, respectively. The characterization data indicated that the proposed source could synthesize CNTs even under relatively severe conditions for the magnetic null discharge formation.
목차
Abstract
1. Introduction
2. System Geometry and description
3. Experimental Procedures
4. Results and Discussions
5. Conclusion
Acknowledgements
References
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