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저자정보
배규현 (금오공과대학교) 최수창 이득우 홍성욱 (금오공과대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
63 - 68 (6page)

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Precise stages often employ piezoactuators of which inherent hysteretic characteristics cause a nonlinear behavior to the stages. This paper presents a dynamic model for a micro-stage with a displacement magnification mechanism which includes the hysterisis model for the piezoactuators. The previous study reveals that the proposed micro-stage provides large displacement but it is subjected to severe residual vibration because of little damping engaged in the displacement magnification mechanism. Although the input shaping method is useful for reducing such residual vibration, it proves to be ineffective when a large input is applied to the system. The present paper investigates the dynamic characteristics of the system of which piezoactuator characteristics are included. The simulation results show that the actuator hysterisis can change the dynamic characteristics of the system and the employment of robust input shapers is able to compensate the performance deterioration of input shaping due to the hysterisis.
#Micro-stage #Piezoactuator #Hysteresis modeling #Input shaping #Robust input shaper

목차

Abstract
1. 서론
2. 초정밀 마이크로 스테이지
3. 동적 모델링 및 특성 해석
4. 결론
후기
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