CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각

강필승 ,  김창일 ,  김상기

전기전자재료학회논문지

2002 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )

김성철 ,  황기웅 ,  이종덕 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Downstream 유도형 반응기의 제작 및 CF4 / O2 플라즈마를 이용한 a-Si : H의 식각 ( Fabrication of Downstream Inductively Coupled Reactor and Etching of a-Si : H Using CF4 / O2 Plasma )

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )

최영규 ,  강진영 ,  마동성

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

CF플라즈마 처리에 의한 잉크젯 프린팅 Ag박막과 폴리이미드 사이의 계면파괴에너지 향상에 관한 연구

박성철 ,  조수환 ,  정현철 외 2명

한국재료학회지

2007 .01

Polyimide Films

김성수

고분자 과학과 기술

1995 .06

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구

黃琪雄 ,  金成哲 ,  徐龍雲

전기학회논문지

1987 .11

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

Al/Polyimide 구조에서의 알루미늄 식각에 관한 연구

문호성 ,  김상훈 ,  우상균 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구

손의정 ,  윤용수 ,  김동현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

김윤기 ,  손의정 ,  위성석 외 2명

전기학회논문지

2015 .04

유도결합형 플라즈마를 이용한 ITO 식각 특성

박준용 ,  김정식 ,  김현수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films

김한수 ,  김창일 ,  우종창 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

POLYIMIDE / POLYIMIDE MOLECULAR COMPOSITES

I . Mita

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1991 .04

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

평판형 유도결합 플라즈마 장치의 CF₄ 방전에 대한 Global Simulation

권득철 ,  유동훈 ,  김성식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07