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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 대한전기학회 전기물성·응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.11
수록면
88 - 89 (2page)

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ZnO thin films were deposited on Al₂O₃ (alumina) substrates by pulsed laser deposition (PLD) using Nd:YAG laser with a wavelength of 355㎚, at room temperature and oxygen partial pressure of 1, 10, 30, 50, 100, and 200mTorr. Furthermore, deposited ZnO thin films were post-annealed at 400, 550, 600℃. The effects of oxygen partial pressure and post-annealing temperature on structura ... 전체 초록 보기

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