평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

$\textrm{Cl}_{2}/\textrm{H}_{2}$ 플라즈마 조건이 n-GaN 식각 특성 및 저저항 접촉 형성에 미치는 영향

김현수 ,  이용혁 ,  이재원 외 2명

한국재료학회지

1999 .01

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

엄두승 ,  허경무 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용

이수부 ,  박헌건 ,  이석현

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석

차주홍 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .08

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Inductively Coupled Plasma Etching of AZO and ZnO in CI2/CH4/H2/Ar and BCI₃/CH4/H2/Ar Chemistries

Hack Joo Lee ,  Bong Soo Kwon ,  Young Rok Pa 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Plasma 공정에 의한 고출력 E-mode GaN 전력반도체 특성 연구

최환히찬 ,  안결 ,  장태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구

차주홍 ,  한문기 ,  서권상 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

CH₄ 플라즈마에 따른 TiN 박막 표면의 식각특성 연구

우종창 ,  엄두승 ,  김관하 외 2명

한국표면공학회지

2008 .10

Etch Properties of HfO2 Thin Films using CH4/Ar Inductively Coupled Plasma

우종창 ,  Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

Studies on Highly Selective Oxide Etching using C2F6-CH3F Inductively Coupled Plasma Source

이원석 ,  정상섭 ,  강창진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in Cl₂/BCl₃plasmas

Y.H. Lee ,  Y.J. Sung ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구

차주홍 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10