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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2004년도 대한전기학회 전기물성·응용부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.11
수록면
187 - 190 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

Dry etching of BST thin films using inductively coupled plasma
김관하 ,  김경태 ,  김창일 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004.11 학술대회자료
Etching characteristics of PST thin film and ion energy distribution using inductively coupled plasma
김관하 ,  김경태 ,  김창일 대한전기학회 학술대회 논문집 2004.11 학술대회자료

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목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental Details
3. Results and Discussion
3. Conclusion
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