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이용수
Abstract
1. 서론
2. 마이크로브리지의 열전달 해석
3. 센서설계
4. 센서제작 및 특성
6. 결론
참고문헌
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1996 .04
유속 감지를 위한 실리콘 유량센서의 설계 및 제작 ( Design and Fabrication of Silicon Flow Sensor For Detecting Air Flow )
전자공학회논문지-A
1994 .05
실리콘 브리지의 유동 및 열전달 해석 ( Theoretical Study of Flow and Heat Transfer Around Silicon Bridge )
대한기계학회 춘추학술대회
1992 .01
Design and Optimization of Piezoresistive Materials Based Microbridge for Electro-osmosis Pressure Sensor
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2019 .01
마이크로 공정을 통해 실리콘 기판에 형성된 유량 센서
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
새로운 열브리지 처리법
설비공사
1993 .01
마이크로 유속, 유량센서의 기술동향
전기의세계
1992 .02
실리콘 압력 센서를 이용한 유량계 제작 ( Fabrication of gas flow-meter using silicon press sensor )
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1993 .06
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1986 .05
마이크로 센서기술 특집을 내면서
전기의세계
1992 .02
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실시간 제어기를 이용한 마이크로 열식 질량공기 유량센서의 열특성 측정
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대한전자공학회 학술대회
1996 .01
가스 유량 모니터링 센서의 마이크로 공정 및 특성
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2015 .04
Silicon Pressure Sensor
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1997 .01
다결정실리콘 박막의 센서에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
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전기의세계
1993 .10
다단계 온도 감지막을 가진 마이크로 흐름센서의 열전달 특성
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