다구찌법을 이용한 마이크로 스피커용 다이아프램의 성능개선에 관한 연구

홍고관 ,  우병철 ,  안찬우

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

직교배열표를 이용한 마이크로 스피커용 다이아프램의 성능개선에 관한 연구

홍도관 ,  우병철 ,  안찬우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

새로운 박막제조 기법을 이용한 초소형 밸브 제작 및 특성분석 ( A Study on Micro Valve Using Novel Diaphgram Fabrication Technique for Silicon )

권영신 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

전해 콘텐사용 알루미늄박의 애칭특성에 미치는 황산첨가의 영향 I. 에치터널의 형상 및 정전 용량

김성갑 ,  유인종 ,  장재명 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

보행자용 원스탑 대중교통 길안내 서비스

김재권 ,  양원준 ,  배은실 외 1명

한국통신학회 학술대회 및 강연회

2005 .12

P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

실리콘 박막의 제조와 특성 평가

김준수

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

부식억제제에 의한 알루미늄박의 에치피트 특성

주은균 ,  조수행 ,  지충수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화

고종수 ,  Weiguo Liu ,  Weiguang Zhu

전자공학회논문지-SD

2001 .11

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01