Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성

홍성재 ,  권상직 ,  조의식

전기전자재료학회논문지

2008 .01

반송제어모드를 이용한 인라인 식각/세정장치의 ITO 전극형성기술

홍성재 ,  임승혁 ,  한형석 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

직접접촉식 막증발법에서의 막 젖음 현상에 관한 연구

신용현 ,  구재욱 ,  한지희 외 1명

한국유체기계학회 논문집

2014 .04

DRY/WET ETCHING FOR EMITTER IN CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELL

Hyun Yub Kim ,  Jae Woo CHOI ,  Kyu Wan SONG 외 2명

AFORE

2011 .11

A Compacted In-line Wet Etch/Cleaning System With a Reverse Moving Control System

Im ,  Seung-Hyeok ,  Cho 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

Laser-Induced Maskless wet Etching of Silicon Wafer

Jae Hoon Cheong ,  Se Ki Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Study on vertical wet etching of aluminum metal film for TFT application

Lee ,  Sang-Hyuk ,  Seo 외 18명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

STUDY ON THE HIGH EFFICIENCY BURIED CONTACT SOLAR CELL WITH WET ETCHING PROCESS

Dae Keun Kang ,  Kang Ho Choi ,  Joo Yul Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

HF 습식 식각을 이용한 극자외선 노광 기술용 SiN_x

김지은 ,  김정환 ,  홍성철 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2015 .01

고밀도 광기록을 위한 GeSbTe 박막의 Wet-Etching 특성연구

김진홍 ,  김선희 ,  이준석

정보저장시스템학회논문집

2006 .01

실리콘 게르마늄의 선택적 습식 식각에 대한 연구

윤장근 ,  박세환 ,  박일한 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01