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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,347 - 1,348 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2006

LAM 공정 응용을 위한 나선형 인덕터의 구조에 대한 시뮬레이션
윤의중 ,  김재욱 ,  박형식 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료
나선형 박막 인덕터와 솔레노이드 칩 인덕터의 주파수 특성 비교 연구
윤의중 ,  김재욱 ,  박형식 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

2004

고성능의 초소형 RF 칩 인덕터 개발
윤의중 ,  천채일 전기전자재료학회논문지 2004.01 학술저널

2002

C-type과 H-type 솔레노이드 RF 칩 인덕터의 특성 비교
윤의중 ,  김재욱 ,  김용석 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료
코일직경에 따른 H-type 솔레노이드 RF chip 인덕터 성능 비교에 관한 연구
윤의중 ,  이태범 ,  김재욱 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료
C-type의 소형 고성능 Solenoid RF Chip 인덕터의 설계 및 구현에 관한 연구
윤의중 ,  김용석 ,  정영창 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2002.06 학술대회자료

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기존 반도체공정들이 갖는 리소그래피와 식각 등의 공정단계를 배제하는 direct-write 공정을 이용하여 친환경적인 이점을 가질 수 있는 나선형 인덕터의 구조를 제안하고 주파수 특성을 확인하였다. 인덕터의 구조는 Si를 300㎛, SiO₂를 3㎛으로 하였으며, Cu 코일의 폭과 ... 전체 초록 보기

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