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자료유형
학술저널
저자정보
이은상 (인하대학교) 이정택 (인하대학교) 원종구 (인하대학교)
저널정보
대한기계학회 기계저널 기계저널 제50권 제6호
발행연도
2010.6
수록면
32 - 35 (4page)

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화학적 기계적 연마
CMP에서 화학ㆍ기계적 가공 비율
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