실리콘 웨이퍼 미세 표면결함의 광산란 특성 평가

하태호 ,  송준엽 ,  Takashi MIYOSHI 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상 ,  이정택 ,  원종구

기계저널

2010 .06

실리콘 카바이드 웨이퍼 및 소자 기술

구상모

전기의세계

2010 .02

실리콘 잉곳 및 웨이퍼의 강도 개선을 통한 신뢰성 향상

한송희 ,  이주호

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2019 .05

급속열처리시 실리콘 웨이퍼에 발생하는 슬립 현상의 해석

이혁 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

1990 .01

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

방사형 보드를 이용한 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  최남석 ,  김동진 외 2명

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2009 .05

실리콘 문화 96

유영욱

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1996 .01

웨이퍼 맵의 정량적 분류 체계 개발

최승현 ,  김은수 ,  이동희 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구

윤효섭 ,  류근걸

청정기술

2000 .06

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

실리콘 에칭 모델링

구민

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

CW 레이저 조사에 의한 실리콘 웨이퍼의 손상 평가

최성호 ,  김정석 ,  장경영 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2012 .10

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

P형 실리콘 웨이퍼내의 금속 불순물 분석

이성호 ,  김홍락 ,  서광 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01