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학술대회자료
저자정보
김병삼 (호서대학교) 박중현 (호서대학교) 박경우 (호서대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 대전.충청지부 공동 춘계 학술대회 초록집
발행연도
2009.5
수록면
108 - 109 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

CFD를 이용한 비 접촉식 웨이퍼 척의 개발
김병삼 ,  박중현 ,  박경우 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료
CFD를 이용한 비 접촉식 웨이퍼 척의 개발
김병삼 ,  박중현 ,  박경우 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

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#CFD(전산유체역학) #Air Hole(공기 출입구) #Air Line(공기 선로) #Floating(유동)

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