전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구

김병삼; 박경우; 송연민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김병삼 (호서대학교) 박경우 송연민

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2009.5

수록면: 544 - 545 (2page)

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전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구

김병삼 , 박경우 , 송연민 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구

김병삼 , 박경우 , 송연민 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

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