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학술대회자료
저자정보
김병삼 (호서대학교) 박경우 (호서대학교) 송연민 (호서대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
577 - 582 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

비접촉식 웨이퍼척의 유압 변형에 미치는 구조 및 유동해석
김병삼 ,  박경우 ,  박중현 대한기계학회 춘추학술대회 2009.11 학술대회자료
웨이퍼 휨에 대한 비접촉식 이송시스템의 유동-구조 해석
김병삼 ,  박경우 ,  송연민 대한기계학회 춘추학술대회 2009.11 학술대회자료

초록· 키워드

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This wafer hand device with atmospheric pressure or chemical vapor deposition equipment for transporting and transferring wafers, robot hands carry these longer and wider wafers can also be easily handled. As a contact handling system composed of several problems in increased potential for fracture or warping. A non contact handling system is required to solve this problem. The wafer warping makes it difficult to carry out conventional contact to analysis. We propose a new non contact transportation system with combining air suction and blowout. The numerical analysis and experimental is, therefore, should be performed to obtain compared to results achieved with non contact solutions. This wafer non contact handler shows its strength in maintaining high cleanliness levels for semiconductor production processes. The numerical analysis and experimental is, therefore, should be performed to obtain compared to results achieved with non contact solutions.
#CFD-FEM(전산유체-구조해석) #Floating(공기부상 법) #Ultra-Thin Wafer(웨이퍼 초박막 화) #Non Contact(비접촉식) #Inlet Line(흡입 선로) #Outlet Line(부상 선로)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. Wafer 해석
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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