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이용수
요약
ABSTRACT
1. 서론
2. 기존 플라즈마 시스템 구성
3. 제안된 플라즈마 시스템 구성
4. 임피던스 정합과 플라즈마 발생장치
5. 시뮬레이션
6. 실험 및 결과분석
7. 결론
참고문헌
저자소개
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Production and Utilization of CCPs in 2003 in Europe
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