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학술대회자료
저자정보
정석원 (전자부품연구원) 이경일 (전자부품연구원) 유민상 (전자부품연구원) 손재기 (전자부품연구원) 이석필 (전자부품연구원) 성우경 (전자부품연구원)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,585 - 1,586 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

실리콘 나노와이어의 압저항 효과를 이용한 마이크로폰 제작에 관한 연구
정석원 ,  이경일 ,  유민상 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.07 학술대회자료

2009

실리콘 나노와이어의 압저항 효과에 대한 연구
정석원 ,  박빛나 ,  이국녕 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 MEMS 공정에 기반을 둔 실리콘 나노와이어 제조공정을 바탕으로 실리콘 나노와이어의 압저항 효과를 이용한 압저항형 마이크로폰 구조를 제안, 소자를 제작하여 그 특성을 평가하였다. 본 마이크로폰은 음압에 따른 diaphragm의 진동에 의한 기계적인 스트레스에 기인한 실리콘 나노와이어의 압저항 효과에 따른 저항 변화가 유도되도록 구조를 설계하였으며, 실리콘 나노와이어 제조공정, 전극형성 공정, Bis ... 전체 초록 보기

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전단 압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 ( Silicon Pressure Sensor Using Shear Piezoresistance Effect )
권태하 ,  이우일 전자공학회논문지 1988 .03
Ku-Band용 위성 배열 안테나 설계 및 제작
이한영 전기학회논문지 2012 .11
실리콘 나노와이어 어레이를 통한 CRP 농도의 검출
이경건 ,  정석원 ,  조정아 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 .11
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이승환 ,  김현철 전자공학회논문지-SD 2011 .03

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