산소 플라즈마 식각 방법을 이용한 나노미터 규격의 금속 전극 제작

김경섭; 노용한

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김경섭 (성균관대학교) 노용한 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 105 - 105 (1page)

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김경섭

소속기관 삼성전자

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 5 이용수 76

노용한

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 82 이용수 2,402

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003932650

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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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