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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집
발행연도
2002.2
수록면
161 - 161 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

150 ㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
정필구 ,  임완태 ,  조관식 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2002.06 학술저널
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
정필구 ,  임완태 ,  조관식 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

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