나노 CMOS 소자를 위한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 특성 연구

김지영 ,  김초롱 ,  최승화 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

SOI 구조의 C - V 특성 분석

배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

The Effects of Ta on the Formation of Ni Silicide in Ni - Ta / Si Alloy System

도기훈 ,  이동원 ,  서동찬 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Effect of hydrogen in Ni-silicide with Iodine Catalyst Deposited Ni Film by using Atomic Layer Deposition

강희성 ,  하종봉 ,  김기원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

SOI 기판을 이용한 back-gated FET 센서의 pH 농도검출에 관한 연구

박진권 ,  김민수 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

AEM을 이용한 (Ni, Ta) - Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구

이재욱 ,  강한별 ,  양철웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배 ,  강희성 ,  하종봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Ni Silicide Formation and the Crystalline Silicion Film Growth

김준동 ,  지상원 ,  박윤창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

In-situ heating TEM을 활용한 Ni/6H-SiC의 저온(550 ℃) 반응 및 탄소 거동 분석

권예나 ,  오진수 ,  백승문 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Nickel Silicide Nanowire Growth and Applications

Joondong Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Co-Deposition법을 이용한 Yb Silicide/Si Contact 및 특성 향상에 관한 연구

강준구 ,  나세권 ,  최주윤 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화

김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

Epitaxial Iron - Silicides on Si(100)

Jin-Ho Oh ,  Sang-Kyun Lee ,  Chong-Yun Pa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구

최일상 ,  김경원 ,  김종화 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Effect of microwave times on the interface properties between top silicon layer and buried oxide layer in SOI substrate

권기혁 ,  김동현 ,  공원교 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Ti Capping Layer에 의한 Co - silicide 박막의 형성에 관한 연구

김해영 ,  김상연 ,  고대홍 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

High-k 적층 감지막(OA,OH,OHA)을 이용한 SOI 기판에서의 고성능 Ion-sensitive Field Effect Transistor의 구현

장현준 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Pseudo-MOSFET을 이용한 SiGe-on-SOI의 Ge 농도에 따른 기판의 특성 평가 및 열처리를 이용한 전기적 특성 개선 효과

박군호 ,  정종완 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02