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MOSFET 구조내 HfO₂게이트절연막의 Nanoindentation을 통한 Nano-scale의 기계적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Tunnel barrier engineered 메모리 적용을 위한 터널링 절연막의 전기적 특성 및 계면 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
터널 절연막 구조에 따른 SiC 나노입자 나노부유커패시터의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
SiO₂/SiNx 터널 절연막의 적층에 따른 비휘발성 메모리 소자 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
플렉서블 디스플레이에의 적용을 위한 저온 게이트 절연막에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
용액 공정을 이용한 High-k 게이트 절연막을 갖는 고성능 InGaZnO Thin Film Transistors의 전기적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Properties of HfSixOy/HfO₂ film as a various Annealing Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
범밀도함수론을 이용한 정방정계-HfO₂/Si의 계면 층 구조 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
게이트 절연막 SiNx와 SiO2에 따른 솔루션 기반 ITZO TFTs의 전기적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
온도에 따른 SiO2, SiNX 게이트 절연막 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Effects of N₂ Anneal on Electrical Properties of HfO₂ Film on Si Substrate
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Influence of O₂ Anneal on the Electrical Properties of HfO₂ thin Film on Si Substrate
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
저에너지 Fluorine-based 중성빔 incorporation 공정을 이용한 Al₂O₃ gate 절연막 특성향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Al₂O₃/HfO/Al₂O₃ 터널장벽 WSi₂ 나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
차세대 비휘발성 메모리를 위한 TBE (Tunnel Barrier Engineered) 절연막의 전기적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체소자의 절연막응용을 위한 폴리이미드 박막의 제작과 특성
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
RF Sputtering의 증착 조건에 따른 HfO₂ 박막의 Nanocrystal에 의한 Nano-Mechanics 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2012 .09
Characteristics of low-temperature at 80°C HfO2 deposited by ALD (Atomic Layer Deposition) and electrical properties of NMOS capacitor
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
용액 공정 기반 ZrO2 절연막을 사용한 IGZO 박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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