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저자정보
박주홍 (인제대학교) 노강현 (인제대학교) 이성현 (인제대학교) 최경훈 (인제대학교) 조관식 (인제대학교) 이제원 (인제대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
105 - 105 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
박주홍 ,  노강현 ,  이성현 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

2009

확산펌프 기반의 O 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각
박주홍 ,  이성현 ,  최경훈 외 2명 한국재료학회지 2009.01 학술저널
축전 결합형 $O_2$ 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교
박주홍 ,  이성현 ,  노호섭 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2009.01 학술대회자료

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