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펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
임피던스 트랜스포머에 의한 펄스 직류 전원 플라즈마의 전기 특성 변화 및 GaAs 식각에 대한 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
저진공 펄스 직류 전원 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/Al0.2Ga0.8As 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
펄스 직류 전원 플라즈마를 이용한 갈륨비소와 갈륨알루미늄비소 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
CF₄/Ar를 이용한 유기고분자 기판의 펄스 직류전원 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
유도결합형 BCl₃ 및 BCl₃ / Cl₂계 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
확산펌프 기반의 BCl₃ 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각
Applied Science and Convergence Technology
2009 .07
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
자화 유도 결합 Cl₂ / BCl₃ / O₂, Cl₂ / BCl₃ / N₂ 플라즈마를 이용한 Ⅲ - nitrides 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 BCl₃/ Cl₂/ Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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