Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배 ,  강희성 ,  하종봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

The Effects of Ta on the Formation of Ni Silicide in Ni - Ta / Si Alloy System

도기훈 ,  이동원 ,  서동찬 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Effect of hydrogen in Ni-silicide with Iodine Catalyst Deposited Ni Film by using Atomic Layer Deposition

강희성 ,  하종봉 ,  김기원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

합금 타겟을 사용한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 연구

김지영 ,  김초롱 ,  임재영 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Various Iron - silicide Formation in Fe / Si Multilayered Films

박주상 ,  이영백 ,  Y. V. Kud 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

나노 CMOS 소자를 위한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 특성 연구

김지영 ,  김초롱 ,  최승화 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

AEM을 이용한 (Ni, Ta) - Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구

이재욱 ,  강한별 ,  양철웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Iron silicide formation in Fe / Si multilayered films by ion beam mixing

J. S. Pa ,  k ,  Y. P. Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Nickel Silicide Nanowire Growth and Applications

Joondong Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

In-situ heating TEM을 활용한 Ni/6H-SiC의 저온(550 ℃) 반응 및 탄소 거동 분석

권예나 ,  오진수 ,  백승문 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Self - assembled growth of Pt silicide nanowire on Si(100)

임도경 ,  이도현 ,  김세훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

The Study of High Frequency Characteristics of Co - Ni - Fe and Co - Ni - Fe - N Thin Films with Film Thickness

한석희 ,  김희중 ,  김윤명 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2001 .04

Co-Deposition법을 이용한 Yb Silicide/Si Contact 및 특성 향상에 관한 연구

강준구 ,  나세권 ,  최주윤 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화

김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

Epitaxial Iron - Silicides on Si(100)

Jin-Ho Oh ,  Sang-Kyun Lee ,  Chong-Yun Pa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구

최일상 ,  김경원 ,  김종화 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Ti Capping Layer에 의한 Co - silicide 박막의 형성에 관한 연구

김해영 ,  김상연 ,  고대홍 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Co-Silicide Device Characteristics in Embedded DRAM

Kim ,  Jong-Chae ,  Kim 외 3명

한국결정학회지

2001 .01

Formation of Crystalline Copper Thin Films by a Sputtering-assisted Magnetic Field System at Room Temperature

Hyun Sung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .01

Effect of Gilbert Damping in Co/Ni Multilayer Films with Various Ni Thickness

송현석 ,  양시훈 ,  이경동 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .06