유도 결합형 플라즈마를 이용한 BCl₃/ Cl₂/ Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성

나선웅 ,  이영식 ,  정성훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

유도결합 Cl₂ / CHF₃, Cl₂ / CH₄, Cl₂ / Ar 플라즈마를 이용한 InGaN 건식 식각 반응기구 연구

이도행 ,  김현수 ,  염근영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Cl₂/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각

이도영 ,  김종성 ,  정지원

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각

박상규 ,  김태영 ,  서성우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각

정지원 ,  박익현 ,  박왕현 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

Pt 박막의 반응성 이온식각

양정승 ,  김민홍 ,  윤의준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석

강동균 ,  박현정 ,  최동진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

고밀도 플라즈마를 사용한 Cl₂ / Poly - Si 건식 식각

이휘건

Applied Science and Convergence Technology

1999 .02

고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성

성연준 ,  이용혁 ,  김현수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각

박상규 ,  서성우 ,  이시우

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

HBr 가스를 이용한 MgO 박막의 고밀도 반응성 이온 식각

김은호 ,  소우빈 ,  공선미 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

4-크로로-4'-메톡시-2-니트로디페닐아민의 X-선 결정 및 분자구조 결정

남궁해 ,  유재혁 ,  이현미

한국결정학회지

1991 .01

여윔증 넙치, Paralichthys olivaceus의 증상에 대한 병태생리학적 고찰

김이경 ,  정준범 ,  이무근 외 4명

한국어병학회지

2011 .01

이온빔 식각을 통한 저마찰용 표면 구조 제어 연구

이승훈 ,  윤성환 ,  최민기 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구

김종식 ,  김대철 ,  김용현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석

이영석 ,  김시준 ,  조철희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Ar / CH₄ 혼합가스를 이용한 ITO 식각특성

박준용 ,  김현수 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing

여인환 ,  박주억 ,  김준희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

CoFeB과 IrMn 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각

김은호 ,  소우빈 ,  공선미 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

CF₄ / Ar 플라즈마를 이용한 Bi₄ - xLaxTi₃01₂ 박막의 식각 특성

김동표 ,  김경태 ,  김창일

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06