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고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
자화 유도 결합 Cl₂ / BCl₃ / O₂, Cl₂ / BCl₃ / N₂ 플라즈마를 이용한 Ⅲ - nitrides 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Cl₂/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유도결합형 BCl₃ 및 BCl₃ / Cl₂계 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
유도결합 Cl₂ / CHF₃, Cl₂ / CH₄, Cl₂ / Ar 플라즈마를 이용한 InGaN 건식 식각 반응기구 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
Etching characteristics of ZnO thin films using inductively coupled BCl₃ / Ar and Cl₂ / Ar plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Cl₂/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유도결합형 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도결합형 BCl3 / HBr / Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
BCl₃ / O₂/ Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 InP의 건식 식각에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .12
CF4/Ar 유도결합플라즈마의 저 유전상수 SiCOH 박막 식각에 미치는 RF 파워의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
자장 강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 TFT - LCD용 Al - Nd 박막의 식각 특성 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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